Profils d’implantation
Une application typique de l’analyse SIMS est le profil d’implantation. Il permet de vérifier la dose implantée dans un échantillon d’une matrice donnée mais aussi de faire correspondre les doses entre deux implanteurs.
En exemple, le profil SIMS d’un implant de 11B dans un échantillon de silicium. A noter que la technique permet d’obtenir une grande dynamique ainsi qu’une excellente limite de détection.
Analyse de structures minces
L’analyse d’échantillons présentant des structures très fines devient de plus en plus importante.
La réduction de l’énergie d’impact permet d’obtenir des résolutions en profondeur de l’ordre du nanomètre en conservant une bonne limite de détection.
Miroirs de Bragg
Analyse de miroirs de Bragg en SIMS dynamique pour la mesure de la composition des différentes couches ainsi que la définition des interfaces.